雙元科技(688623.SH)：晶圓AOI位錯檢測系統測試樣機已通過廠商驗證并獲得少量訂單

格隆匯5月24日丨雙元科技(688623.SH)披露投資者關系活動記錄表顯示，公司技術研發持續向半導體量檢測領域拓展，目前已完成全自動晶圓AOI量檢測系統和晶圓在線光譜量測系統的樣機研發。截至2024年4月30日，公司的晶圓AOI位錯檢測系統的測試樣機已通過廠商驗證并獲得少量訂單。該設備基于明場反射原理，采用高倍率光學顯微鏡成像技術，實現SiC晶圓位錯缺陷的高速、精準、非接觸式的無損光學檢測。結合AI識別算法，可對晶圓中的TSD、TED、BPD瑕疵實現精準的識別和分類。此次訂單簽訂標志著公司正式邁入半導體量檢測領域。